8月初,全球半导体行业因路透社的一则报道而引发轰动:三星电子和SK海力士正在考虑中国中微公司的芯片制造设备,并可能将其引入在中国的晶圆厂中。据称,这两家韩国巨头两年前已秘密测试中微的刻蚀设备。虽然三星迅速作出否认,SK海力士则保持沉默,但无可否认的是,已融入台积电体系的中微,实际上已获得全球市场的认可。过去,中国提供高端半导体设备这一想法几乎不敢想象,如今却成为现实。
在2004年一次半导体设备展会上,中微创始人尹志尧与江上舟进行了一次深刻的交流。彼时尹志尧在硅谷积累了丰富的经验与专利,回国成立中微也面临巨大的风险与挑战。然而,尹志尧受到家族精神和江上舟的话语激励,决心回国创业。最终,凭借个人知识和来自上海市政府的资金支持,他于2004年在没有任何技术资料的情况下,开始研发国产刻蚀机。
起初,面临资金短缺和其他困难,但在各方支持下,他们获得了来自国家开发银行的无息贷款,研发逐渐走上正轨。2007年,中微成功研制出国内首台高端刻蚀设备,但随即遭遇了前东家应用材料的法律诉讼。经过两年半的艰苦斗争,尹志尧最终洗清冤屈,并在技术研发上不断超前布局。他们从创立之初便瞄准了40纳米刻蚀机的研发,致力于在技术迭代迅速的半导体行业中抢占先机。 龙8国际登录
中微的刻蚀机在2015年达到了与美国设备同等的质量,随之美国商务部解除对这类设备的出口禁令。到2018年底,中微的5纳米刻蚀机获得了台积电的验证,成为唯一一家进入台积电7纳米设备供应链的国内企业。这一进展背后,汇聚了来自多个国家和地区的团队,展现了强大的技术实力。尹志尧以自己的比喻形象地说明了他们设备的先进程度,表现出中微在全球顶级供应链中的崭露头角,标志着中国半导体设备产业的重大突破。
在2024年科创板开市五周年之际,来自四家国产半导体设备企业的领导者聚集一堂,共同探讨如何在这一领域实现更大突破。